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第二百十章 举国之力的产物（第1页）

七月初，海湾科技再一次给徐申学报喜，说是已经研出来了v干式光刻机的样机，正准备进行第一次开机测试。

得到这个消息后，徐申学推掉了其他的行程，当天就去了海湾科技。

抵达海湾科技后，王道林一脸喜色的带着徐申学参观了他们最新的研成果一台完全自研的v干式光刻机。

“从光源系统到物镜，再到机台等所有的子系统整合以及部分关键零部件，都是由仙女山控股旗下或柳河投资，智云科技旗下的兄弟公司所提供，此外这些子系统的背后所需要的众多零部件，除了我们自家的兄弟公司外，还有其他过一千多家国内企业供应。”

“参与这个项目研的企业数量，直接或间接达到了接近两千家，各类研究所一百多家，还有十多所著名高校也都参与了进来！”

王道林说着的时候，激动中更带着感叹“这可是真正的举国之力才能搞出来的顶级设备啊！”

“我们硬是靠着一家之力，做到了整个欧美日韩整个西方体系整合起来才能做到的事情，这难度，比单纯研一个光刻机更难。”

“如果是依托全球产业链，搞这东西虽然技术难度很高，但是我们要做的也只是系统整合工作而已，难度虽然有，但是不至于有什么代差，给我们a的零部件供应商，我都敢放话，最多一年时间就能够弄出来v浸润式光刻机甚至进军euv光刻机！”

“但是我们没有这些全球范围的供应商啊，所以很多东西都只能自己在国内找，实在找不到就只能自己从头研！”

“v光刻机的全部国产化，其难度大的惊人！”

“很多东西都要从原材料开始研！”

王道林说着的时候，一旁的南江科技的研部门负责人曹星辰也是接上了话头“不错！”

“我们公司是搞物镜，为了这个v光刻机的物镜，我们是从材料到加工工艺，全都是重新搞的！”

“我们南江科技主导，还拉着一大票研究所，合作企业，同时展开了数十个新材料研究项目，挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”

“最终花了两年多时间，这才弄出来了堪用的材料！”

“但是弄出来材料还不行，然后还得加工啊！”

“这加工更难！”

曹星辰说的时候，也是回想起来了之前的研困境，不由得感叹“光刻机所需要的镜片精度是非常高的，通常需要达到波长的五十分之一，比如我们这v干式光刻机的光源波长是193纳米，五十分之一就是三点八六纳米！”

“这种精度的加工，几乎过普通人的想象！”

“而我们南光之前在生产i-e光刻机镜片以及rf光源镜片的时候，采用的是国内现有的一些技术，比如小磨头抛光、磁流变抛光等技术。”

“原有的这些技术用来加工v光刻机所需要的镜片还不够！”

“而且想要在原来的技术路线想要获得更大的突破，达到蔡司，尼康等厂家的水准难度非常大。”

“为了解决这一问题，我们的研团队一边现有技术进行研，一边开新技术，其中的一项新技术得到了迅展，这就是离子束抛光技术。”

说到这个离子束抛光技术的时候，曹星辰整个人都变的激动了起来

“这项技术虽然也很难研，为此耗费了我们大量的人力物力，但是真正做出来后效果那是真的好啊！”

“利用该技术我们可以轻易的加工出来满足v干式光刻机需求的镜片，甚至后续工艺继续改进后，搞出来v浸润式光刻机的镜片也是问题不大！”

v干式光光刻机和浸润式光刻机，虽然使用的光源都是arf光源，但是浸润式光刻机的光源经过纯水的折射后，波长却是演变为134纳米。

因为两者虽然光源系统看似一样，但是对物镜以及其他子系统的要求是不一样的。

曹星辰继续说着“甚至在这项技术上继续耕耘下去，未来是能够搞出来精度更高，可用于euv光刻机所需要的镜片的！”

一代代光科技的技术升级，除了光源系统不断升级进步外，还需要其他诸多子系统的配合，而物镜就是这一系列子系统里最为关键的部分。

以上这两点是影响光刻精度最核心的子系统。

当然，其他方面，比如机台对准等也不能差就是了。

徐申学听着这些话，然后翻看着手中的技术手册，为了照顾徐申学这个不懂技术的人，这份技术手册用简单易懂的方式介绍了眼前的这台v干式光刻机的基本情况以及各子系统的情况。

也就是之前徐申学常年给自己挂着一个b级科研名额的外挂，然后闲着没啥事的时候也会经常学习，翻看一些技术，尤其是半导体领域的技术资料。

所以多少也能够看出来这技术资料上描述的各种技术参数，其背后意味着什么！

就和王道林说的一样这是一个举国之力才能够搞出来的顶级设备！

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